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真空系統(tǒng)中有真空泵，若是一臺直讀光譜儀儀器很長時間沒有啟動，必須等待片刻后，才能進行檢測，這段時間，真空系統(tǒng)會啟動，進行抽真空。有些直讀光譜儀不采取真空系統(tǒng)，而進行沖氬氣來防止氧氣干擾，這種直讀光譜儀稱之為充氬式光譜儀，創(chuàng)想儀器曾研發(fā)一款CX-9500就是充氬式的光譜儀。
CX-9500充氬式光譜儀
充氬式的儀器與真空直讀光譜相比，少了真空系統(tǒng)，這樣在價格方面有少許優(yōu)惠，但是相對的比真空系統(tǒng)需要多使用一些氬氣。兩種類型的直讀光譜儀各有各的優(yōu)缺點，需要根據(jù)企業(yè)自身需求來采購。
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